Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Termes et définitions
4 Grandissement d'image
4.1 Marqueur d'échelle
4.2 Expression du grandissement
5 Matériau de référence
5.1 Généralités
5.2 Exigences pour un CRM
5.3 Gravures sur un CRM
5.4 Stockage et manipulation
6 Procédures d'étalonnage
6.1 Généralités
6.2 Montage du CRM
6.3 Réglage des conditions opératoires du MEB pour
l'étalonnage
6.4 Enregistrement de l'image
6.5 Mesure de l'image
6.6 Étalonnage du grandissement et du marqueur d'échelle
7 Exactitude du grandissement d'image et du marqueur d'échelle
8 Rapport d'étalonnage
8.1 Généralités
8.2 Contenu du rapport d'étalonnage
Annexe A (informative) Matériaux de référence pour l'étalonnage
du grandissement
Annexe B (informative) Paramètres qui influencent le
grandissement résultant d'un MEB
Annexe C (informative) Incertitudes des mesures de grandissement
Annexe D (informative) Exemple de rapport d'essais