DIN IEC 62047-4:2006-09 (Draft)
Superseded
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
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SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 4: GENERIC SPECIFICATION FOR MEMS
01-03-2011
12-01-2013
In diesem Teil der IEC 62047 sind Fachgrundspezifikationen (Generic Specifications) für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST) als Basis für die Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind. Diese Norm enthält Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für Qualitätsbewertungen, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngrössen.
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