DIN IEC 62047-6:2007-07 (Draft)
Superseded
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
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SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 6: AXIAL FATIGUE TESTING METHODS OF THIN FILM MATERIALS
01-07-2010
12-01-2013
In dieser Norm ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanter Spannungs- oder Dehnungsamplitude festgelegt für Dünnschicht-Werkstoffe mit einer Länge und Breite kleiner als 1 mm und einer Dicke im Bereich von 0,1 [mu]m bis 10 [mu]m. Dünnschicht-Werkstoffe werden als hauptsächliche Werkstoffe für die Herstellung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Mikromaschinen verwendet.
| DocumentType |
Draft
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| PublisherName |
German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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| Status |
Superseded
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| SupersededBy |
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