DIN IEC 62374-1:2008-02 (Draft)
Superseded
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
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TIME DEPENDENT DIELECTRIC BREAKDOWN TEST (TDDB) FOR INTER-METAL LAYERS
01-06-2011
12-01-2013
In diesem Dokument wird sowohl ein Prüfverfahren zum zeitabhängigen dielektrischen Durchbruch (TDDB; en: time dependent dielectric breakdown) in intermetallischen Schichten auf Halbleiterbauelementen als auch ein Verfahren zum Abschätzen der Bauelementelebensdauer bezogen auf TDDB-Ausfälle beschrieben.
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