DIN V VDE V 0126-18-5 : 2007
Superseded
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
View Superseded by
SOLAR WAFERS - PART 5: PROCESS FOR MEASURING THE ELECTRICAL RESISTANCE OF SILICON WAFERS
01-12-2009
12-01-2013
Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, den elektrischen Widerstand von multi- und monokristallinen Halbleiterscheiben im Zustand 'as cut' (ohne gestaltverändernde chemische, physikalische oder mechanische Bearbeitung der Oberfläche nach dem Herstellungsprozess) zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Widerstandsmessgeräte verwendet werden.
| DocumentType |
Standard
|
| PublisherName |
Verband Deutscher Elektrotechniker
|
| Status |
Superseded
|
| SupersededBy |
| Standards | Relationship |
| VDE 0126-18-5 : 2007 | Identical |
Access your standards online with a subscription
Features
-
Simple online access to standards, technical information and regulations.
-
Critical updates of standards and customisable alerts and notifications.
-
Multi-user online standards collection: secure, flexible and cost effective.