NF ISO 14594 : 2007

Avant-propos
1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Termes et définitions
4 Abréviations
5 Paramètres expérimentaux
  5.1 Généralités
  5.2 Paramètres liés au faisceau primaire
  5.3 Paramètres liés aux spectromètres à
      dispersion de longueur d'onde
  5.4 Paramètres liés à l'échantillon
6 Modes opératoires et mesures
  6.1 Généralités
  6.2 Courant de faisceau
  6.3 Paramètres liés aux pics mesurés
  6.4 Paramètres liés à l'échantillon
7 Rapport d'essai
Annexe A (informative) Méthodes d'estimation de
         l'aire d'analyse
Annexe B (informative) Méthodes d'estimation de
         la profondeur d'analyse
Annexe C (informative) Méthode d'estimation du
         volume analysé par simulation de
         Monte-Carlo (MC)
Bibliographie

La présente Norme internationale spécifie les lignes directrices générales pour déterminer les paramètres expérimentaux liés au faisceau primaire, au spectromètre à dispersion de longueur d'onde et à l'échantillon, paramètres qu'il faut prendre en compte lors de l'analyse par microsonde de Castaing. Elle définit également les modes opératoires pour déterminer le courant de faisceau, la densité de courant, le temps mort, la résolution en longueur d'onde, le fond continu, l'aire, la profondeur et le volume d'analyse. La présente Norme internationale concerne l'analyse d'un échantillon correctement poli sous incidence de faisceau normale; dans d'autres conditions expérimentales, les paramètres obtenus ne peuvent être qu'indicatifs. La présente Norme internationale ne concerne pas la spectrométrie de rayons X à sélection d'énergie.