NF ISO 15472 : 2006

Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Symboles et termes abrégés
4 Aperçu de la méthode
5 Procédure d'étalonnage de l'échelle d'énergie
  5.1 Obtenir les échantillons de référence
  5.2 Monter les échantillons
  5.3 Nettoyer les échantillons
  5.4 Choisir les réglages du spectromètre pour lequel
       l'étalonnage d'énergie est requis
  5.5 Faire fonctionner l'instrument
  5.6 Options pour les mesures du premier étalonnage
       ou des étalonnages ultérieurs
  5.7 Mesures de l'écart-type de répétabilité de
       l'énergie de liaison des pics et de la
       linéarité de l'échelle
  5.8 Calculer l'écart-type de répétabilité de
       l'énergie de liaison des pics
  5.9 Vérifier la linéarité de l'échelle d'énergie
       de liaison
  5.10 Procédure pour la détermination régulière de
       l'erreur d'étalonnage
  5.11 Procédures pour la correction de l'échelle
       d'énergie de liaison de l'instrument
  5.12 Étalonnage suivant
  5.13 Établir l'intervalle d'étalonnage
Annexe A (normative) Détermination par la méthode des
         moindres carrés de l'énergie de liaison des
         pics par une méthode de calcul simple
Annexe B (informative) Dérivation des incertitudes
Annexe C (informative) Citation des incertitudes des
         énergies de liaison mesurées
Annexe D (informative) Mesures des paramètres Auger
         modifiés mesurés au moyen d'instruments XPS
         équipés d'une source X monochromatique d'AI
Bibliographie

La présente Norme internationale spécifie une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie de liaison des spectromètres de photoélectrons X, appliquée à des fins analytiques générales et utilisant une source X non monochromatique d'Al ou de Mg ou une source X monochromatique d'Al. Elle n'est applicable qu'à des instruments qui comportent un canon ionique pour un nettoyage par pulvérisation. La présente Norme internationale spécifie en outre une méthode permettant d'établir un programme d'étalonnage, de tester la linéarité de l'échelle d'énergie de liaison à une énergie intermédiaire, de confirmer l'incertitude d'étalonnage de l'échelle à une valeur faible et à une valeur élevée de l'énergie de liaison, de corriger les petites dérives de cette échelle et de définir l'intervalle de confiance de l'étalonnage de l'échelle d'énergie de liaison correspondant à une probabilité de 95%. Cet intervalle d'incertitude comprend la contribution des comportements observés lors d'études interlaboratoires, mais ne couvre pas l'ensemble des défauts qui peuvent se produire. La présente Norme internationale ne s'applique pas à des instruments comportant des erreurs d'échelle d'énergie de liaison qui sont significativement non linéaires, à des instruments fonctionnant en mode de coefficient de retardement constant à des coefficients de retardement inférieurs à 10, à des instruments dont la résolution du spectromètre est inférieure à 1,5 eV, ou à des instruments exigeant des limites de tolérance de + ou -0,03 eV ou moins. La présente Norme internationale ne fournit pas de vérification complète de l'étalonnage, qui confirmerait l'énergie mesurée à chaque point adressable de l'échelle d'énergie et qui devrait être réalisée conformément aux procédures recommandées par le fabricant.