NF ISO 18516 : 2008

Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Termes, définitions, symboles et termes abrégés
  3.1 Termes et définitions
  3.2 Symboles et termes abrégés
4 Informations générales
  4.1 Informations préalables
  4.2 Mesure de la résolution latérale en AES et en XPS
  4.3 Dépendance de la résolution latérale par rapport à
      la direction de balayage
  4.4 Procédés de mesure de la résolution latérale en
      AES et en XPS
5 Mesure de la résolution latérale avec le procédé du
  bord rectiligne
  5.1 Introduction
  5.2 Variantes du procédé du bord rectiligne
  5.3 Choix de l'échantillon à bord rectiligne
  5.4 Montage de l'échantillon à bord rectiligne
  5.5 Nettoyage de l'échantillon à bord rectiligne
  5.6 Fonctionnement de l'instrument
  5.7 Collecte des données
  5.8 Analyse des données
6 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé
  de la grille
  6.1 Introduction
  6.2 Choix de l'échantillon de grille
  6.3 Montage de l'échantillon de grille
  6.4 Nettoyage de l'échantillon de grille
  6.5 Fonctionnement de l'instrument
  6.6 Collecte des données
  6.7 Analyse des données
7 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de
  l'îlot d'or
  7.1 Introduction
  7.2 Choix de l'échantillon aux îlots d'or
  7.3 Montage de l'échantillon aux îlots d'or
  7.4 Nettoyage de l'échantillon aux îlots d'or
  7.5 Fonctionnement de l'instrument
  7.6 Collecte des données
  7.7 Analyse des données
Annexe A (informative) Détermination de la résolution
         latérale d'un instrument XPS avec un spot
         focalisé de rayons X
Annexe B (informative) Détermination de la résolution
         latérale à partir d'un balayage linéaire des
         électrons secondaires
Annexe C (informative) Détermination de la résolution
         latérale des balayages linéaires des électrons
         Auger
Bibliographie

La présente Norme internationale décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 pico m. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 pico m, mais supérieure à 20 nm.