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SURFACE CHEMICAL ANALYSIS - SECONDARY-ION MASS SPECTROMETRY - REPEATABILITY AND CONSTANCY OF THE RELATIVE-INTENSITY SCALE IN STATIC SECONDARY-ION MASS SPECTROMETRY
12-01-2013
Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Symboles et termes abrégés
3 Aperçu de la méthode
4 Méthode permettant de confirmer la répétabilité
et la constance de l'échelle des intensités
4.1 Obtention de l'échantillon de référence
4.2 Préparation du montage de l'échantillon
4.3 Montage de l'échantillon
4.4 Choix des réglages du spectromètre pour lesquels
la stabilité de l'intensité doit être déterminée
4.5 Fonctionnement de l'instrument
4.6 Mesurages de l'intensité et sa répétabilité
4.7 Calcul de la répétabilité des intensités
4.8 Mode opératoire de détermination régulière de la
constance de l'échelle des intensités relatives
4.9 Étalonnage suivant
Annexe A (informative) Exemples de conditions de
fonctionnement appropriées pour la
SIMS statique
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