VDE 0126-18-2-1 : 2007
Superseded
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
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SOLARSCHEIBEN - TEIL 2-1: MESSUNG DER GEOMETRISCHEN DIMENSION VON SILICIUMSCHEIBEN - SCHEIBENDICKE
01-12-2009
12-01-2013
Vorwort
1 Anwendungsbereich
2 Normative Verweisungen
3 Begriffe
4 Einheiten
5 Messeinrichtung
5.1 Messgeräte
5.2 Dicken-Kalibriernormale
6 Justierung und Kalibrierung
7 Messung
7.1 Messstellenplan
7.2 Durchführung
7.3 Einfluss der Oberflächenrauheit
8 Auswertung
9 Prüfbericht
10 Präzision des Verfahrens
Literaturhinweise
Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, die Dicke von kristallinen Siliciumscheiben zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Dickenmessgeräte verwendet werden können.
| DocumentType |
Standard
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| PublisherName |
Verband Deutscher Elektrotechniker
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| Status |
Superseded
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| SupersededBy |
| Standards | Relationship |
| DIN V VDE V 0126-18-2-1 : 2007 | Identical |
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