VDE 0126-18-2-2 : 2007
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SOLARSCHEIBEN - TEIL 2-2: MESSUNG DER GEOMETRISCHEN DIMENSION VON SILICIUMSCHEIBEN - DICKENVARIATION
01-12-2009
12-01-2013
Vorwort
1 Anwendungsbereich
2 Normative Verweisungen
3 Begriffe
4 Einheiten
5 Messeinrichtung
5.1 Messgeräte
5.2 Dicken-Kalibriernormale
6 Justierung und Kalibrierung
7 Messung
7.1 Messstellenplan
7.2 Durchführung
7.3 Einfluss der Oberflächenrauheit
8 Auswertung
9 Prüfbericht
10 Präzision des Verfahrens
Literaturhinweise
Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, die Dickenvariation (TTVPV) von kristallinen Siliciumscheiben zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Dickenmessgräte verwendet werden können.
| DocumentType |
Standard
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| PublisherName |
Verband Deutscher Elektrotechniker
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| Status |
Superseded
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| SupersededBy |
| Standards | Relationship |
| DIN V VDE V 0126-18-2-2 : 2007 | Identical |
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