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VDE 0126-18-2-2 : 2007

VDE 0126-18-2-2 : 2007

Superseded

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A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.

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SOLARSCHEIBEN - TEIL 2-2: MESSUNG DER GEOMETRISCHEN DIMENSION VON SILICIUMSCHEIBEN - DICKENVARIATION

Superseded date

01-12-2009

Published date

12-01-2013

Publisher

Verband Deutscher Elektrotechniker

Vorwort
1 Anwendungsbereich
2 Normative Verweisungen
3 Begriffe
4 Einheiten
5 Messeinrichtung
   5.1 Messgeräte
   5.2 Dicken-Kalibriernormale
6 Justierung und Kalibrierung
7 Messung
   7.1 Messstellenplan
   7.2 Durchführung
   7.3 Einfluss der Oberflächenrauheit
8 Auswertung
9 Prüfbericht
10 Präzision des Verfahrens
Literaturhinweise

Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, die Dickenvariation (TTVPV) von kristallinen Siliciumscheiben zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Dickenmessgräte verwendet werden können.

DocumentType
Standard
PublisherName
Verband Deutscher Elektrotechniker
Status
Superseded
SupersededBy

Standards Relationship
DIN V VDE V 0126-18-2-2 : 2007 Identical

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