VDE 0126-18-5 : 2007
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SOLARSCHEIBEN - TEIL 5: VERFAHREN ZUR MESSUNG DES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDES VON SILICIUMSCHEIBEN
23-11-2022
01-12-2009
Vorwort
1 Anwendungsbereich
2 Normative Verweisungen
3 Begriffe
4 Messeinrichtungen
4.1 Messgeräte
4.2 Kalibriernormale
4.3 Thermometer
5 Kalibrierung
6 Probengrössen
7 Messung von Siliciumscheiben
7.1 Allgemeines
7.2 Messung mit Vier-Spitzenmessgerät
7.3 Messung mit Wirbelstrommessgerät mit einem
Messsondenpaar
7.4 Messung mit Wirbelstrommessgerät mit einer
einzelnen Messsonde
8 Prüfbericht
Literaturhinweise
Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, den elektrischen Widerstand von multi- und monokristallinen Halbleiterscheiben im Zustand "as cut" (ohne gestaltverändernde chemische, physikalische oder mechanische Bearbeitung der Oberfläche nach dem Herstellungsprozess) zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Widerstandsmessgeräte verwendet werden.
| DocumentType |
Standard
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| PublisherName |
Verband Deutscher Elektrotechniker
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| Status |
Superseded
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| SupersededBy |
| Standards | Relationship |
| DIN V VDE V 0126-18-5 : 2007 | Identical |
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