Vorwort
1 Anwendungsberei
2 Begriffe
3 Prüfeinrichtung
3.1 HBM-ESD-Pulsformgenerator
3.2 Prüfeinrichtung für die Überprüfung der Pulsform
4 Anforderungen an die HBM-Strompulsform
4.1 Allgemeines
4.2 Qualifizierung und Überprüfung der Pulsform
5 Untersuchung der ESD-Empfindlichkeit des Prüflings
5.1 Allgemeines
5.2 Untersuchung von Prüflingen mit elektrischen Anschlüssen
5.3 Untersuchung von Prüflingen ohne elektrische Anschlüsse
6 Prüfverfahren
7 Ausfallkriterien
8 Klassifizierung der HBM-ESD-Festigkeit
Literaturhinweise
Bilder
Tabellen