DIN EN 62374:2008-02
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SEMICONDUCTOR DEVICES - TIME DEPENDENT DIELECTRIC BREAKDOWN (TDDB) TEST FOR GATE DIELECTRIC FILMS
Hardcopy , PDF
German
01-01-2008
Festgelegt sind in dieser Norm sowohl ein Prüf- und Messverfahren zum zeitabhängigen dielektrischen Durchbruch (TDDB; en: time dependent dielectric breakdown) bei dielektrischen Gate-Schichten von Halbleiterbauelementen als auch ein Verfahren zum Abschätzen der Bauelementelebensdauer bezogen auf TDDB-Ausfälle.
DevelopmentNote |
Supersedes DIN IEC 62374. (02/2008)
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DocumentType |
Standard
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Pages |
24
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PublisherName |
German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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Status |
Current
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Supersedes |
Standards | Relationship |
EN 62374:2007 | Identical |
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