NF EN 62374 : 2008
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SEMICONDUCTOR DEVICES - TIME DEPENDENT DIELECTRIC BREAKDOWN (TDDB) TEST FOR GATE DIELECTRIC FILMS
12-01-2013
AVANT-PROPOS
1 Domaine d'application
2 Termes et définitions
3 Matériel d'essai
4 Echantillons d'essai
4.1 Généralités
4.2 Structure d'essai: structure de condensateur
4.3 Surface
5 Procédures
5.1 Généralités
5.2 Essai préalable
5.3 Conditions d'essai
5.4 Critères
6 Estimation de durée de vie
6.1 Généralités
6.2 Modèle d'accélération
6.3 Procédure de l'estimation de la durée de vie
7 Dépendance de la durée de vie par rapport à la surface
de l'oxyde de grille
Annexe A (informative) Condition d'essai de détermination
supplémentaire et analyse des données
Bibliographie
Cette norme décrit une méthode d'essai de la rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille des dispositifs à semi-conducteurs et une méthode d'estimation de la durée de vie de produit en présence d'une défaillance de type TDDB.
| DevelopmentNote |
Indice de classement: C96-017. PR NF EN 62374 October 2005. (10/2005)
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| DocumentType |
Standard
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| PublisherName |
Association Francaise de Normalisation
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| Status |
Current
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| Standards | Relationship |
| EN 62374:2007 | Identical |
| IEC 62374:2007 | Identical |
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