NF ISO 18116 : 2006

1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Termes et définitions
4 Symboles et termes abrégés
5 Exigences générales
6 Inspection visuelle de l'échantillon
7 Considérations sur l'échantillon
   7.1 Historique
   7.2 Information recherchée
   7.3 Échantillons précédemment examinés par
         d'autres techniques analytiques
8 Sources de contamination de l'échantillon
   8.1 Outils, gants, socles de montage, et matériaux
         similaires
   8.2 Exposition à des gaz
   8.3 Exposition au vide instrumental
   8.4 Exposition aux électrons, aux ions, et aux
         rayons X
   8.5 Contamination de la chambre d'analyse
9 Stockage et transfert de l'échantillon
   9.1 Temps de stockage
   9.2 Récipients de stockage
   9.3 Température et humidité
   9.4 Transfert de l'échantillon
10 Procédures de montage de l'échantillon
   10.1 Procédures générales
   10.2 Poudres et particules
   10.3 Fils, fibres, et filaments
   10.4 Support de montage
   10.5 Réduction des dommages thermiques pendant
         l'analyse
11 Méthodes pour réduire la charge de l'échantillon
   11.1 Considérations générales
   11.2 Masque, grille, enveloppe, ou revêtement
         conducteurs
   11.3 Canon de neutralisation
   11.4 Faisceaux d'électrons et d'ions
12 Techniques de préparation de l'échantillon
   12.1 Considérations générales
   12.2 Séparation mécanique
   12.3 Amincissement contre élimination
   12.4 Élimination du substrat
   12.5 Techniques de coupe
   12.6 Croissance des surcouches
   12.7 Solvants
   12.8 Décapage chimique
   12.9 Pulvérisation d'ions
   12.10 Décapage par plasma
   12.11 Chauffage
   12.12 Rayonnement ultraviolet
13 Fracture, clivage et traçage
   13.1 Fracture
   13.2 Clivage
   13.3 Traçage
14 Techniques spéciales de manipulation
   14.1 Pompage préalable des échantillons contenant
         des gaz
   14.2 Liquides visqueux
   14.3 Résidu dissous
Bibliographie