NF ISO 16700 : 2006
Withdrawn
A Withdrawn Standard is one, which is removed from sale, and its unique number can no longer be used. The Standard can be withdrawn and not replaced, or it can be withdrawn and replaced by a Standard with a different number.
MICROBEAM ANALYSIS - SCANNING ELECTRON MICROSCOPY - GUIDELINES FOR CALIBRATING IMAGE MAGNIFICATION
15-12-2017
12-01-2013
Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Termes et définitions
4 Grandissement d'image
4.1 Marqueur d'échelle
4.2 Expression du grandissement
5 Matériau de référence
5.1 Généralités
5.2 Exigences pour un CRM
5.3 Gravures sur un CRM
5.4 Stockage et manipulation
6 Procédures d'étalonnage
6.1 Généralités
6.2 Montage du CRM
6.3 Réglage des conditions opératoires du MEB pour
l'étalonnage
6.4 Enregistrement de l'image
6.5 Mesure de l'image
6.6 Étalonnage du grandissement et du marqueur d'échelle
7 Exactitude du grandissement d'image et du marqueur d'échelle
8 Rapport d'étalonnage
8.1 Généralités
8.2 Contenu du rapport d'étalonnage
Annexe A (informative) Matériaux de référence pour l'étalonnage
du grandissement
Annexe B (informative) Paramètres qui influencent le
grandissement résultant d'un MEB
Annexe C (informative) Incertitudes des mesures de grandissement
Annexe D (informative) Exemple de rapport d'essais
La présente Norme internationale spécifie une méthode pour étalonner le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. La présente Norme internationale ne s'applique pas aux MEB dédiés au mesurage de dimension critique.
| DevelopmentNote |
Indice de classement: X21-005 PR NF ISO 16700 February 2005 (02/2005)
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| DocumentType |
Standard
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| PublisherName |
Association Francaise de Normalisation
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| Status |
Withdrawn
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| Standards | Relationship |
| ISO 16700:2016 | Identical |
| NF ISO 5725-1 : 1994 | APPLICATION OF STATISTICS - ACCURACY (TRUENESS AND PRECISION) OF MEASUREMENT METHODS AND RESULTS - PART 1: GENERAL PRINCIPLES AND DEFINITIONS |
| ISO Guide 35:2017 | Reference materials — Guidance for characterization and assessment of homogeneity and stability |
| ISO Guide 30:2015 | Reference materials — Selected terms and definitions |
| ISO Guide 34:2009 | General requirements for the competence of reference material producers |
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